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近年来，由于超微细电路加工与纳米技术的发展，科学家将驱动器和传动装置、传感器、控制器、电源集成于多晶硅片上，铸就成机、电、信一体化系统，朝着昆虫式微型机器人方向发展。下面对一些仿生超微型机器人信息介绍如下：
昆虫式超微型机器人一览
【摘 要】
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近年来，由于超微细电路加工与纳米技术的发展，科学家将驱动器和传动装置、传感器、控制器、电源集成于多晶硅片上，铸就成机、电、信一体化系统，朝着昆虫式微型机器人方向发展。下
【出 处】
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技术与市场
【发表日期】
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2007年8期
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