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通过对波长９１０ｎｍＧａＡｓ－ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔面蒸镀ＺｒＯ２膜的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率由无膜时６２％提高到９４％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，对器件端面起到了保护作用。
GaAlAs激光器腔面减反射涂层的研究
【摘 要】
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通过对波长９１０ｎｍＧａＡｓ－ＧａＡｌＡｓ激光器谐振腔面蒸镀ＺｒＯ２膜的工艺过程，从理论和实验上分析涂层特性，透射率由无膜时６２％提高到９４％以上，提高了激光输出功率和工作寿命，对器件端面起到了保护作用。
【机 构】
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长春光机学院近代光学研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年3期
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