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根据IC制造、超精密加工等行业的需求,研发了能够用于超精密定位系统的两维大范围、宽平台精密定位系统。根据宽平台高速运动的要求,对大跨度平台的受力变形进行了理论分析,并对系统结构的静态和动态特性进行了有限元分析。在理论研究的基础上研发了精密定位系统。所开发的系统能够保证在设计载荷下,对于承载面积为250mm×250mm的承载台上任意一点都能够在300mm×300mm范围内任意点进行精密定位。