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乙硅烷是一种主要用于太阳能电池生产的电子气体，与硅烷相比具有沉积速率快、沉积温度低的优点。本实验采用卤代乙硅烷还原法制得了一定量的乙硅烷，并优化了反应装置连接线路。通过采用GC9560氨离子化气相色谱仪分析检测，本实验验证了反应物的添加顺序及反应物的添加比例对所得产物产率的影响。
电子材料气体乙硅烷的合成研究
【摘 要】
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乙硅烷是一种主要用于太阳能电池生产的电子气体，与硅烷相比具有沉积速率快、沉积温度低的优点。本实验采用卤代乙硅烷还原法制得了一定量的乙硅烷，并优化了反应装置连接线路。
【机 构】
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贵州大学化学与化工学院,贵州理工学院
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2015年6期
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