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采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响.为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范围.
磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响
【摘 要】
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采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜,通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基片与靶材间距等,研究其对薄膜结合力的影响.为获得致密度高、结合力好的不锈
【机 构】
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江苏大学材料科学与工程学院
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2004年11期
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