关于TFT-LCD技术显影工艺的探究

来源 :电子元器件与信息技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fayeming

【摘要】

：

随着显示技术的不断发展,TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)液晶显示技术取得了重大关键技术的突破,已进入快速成长时期.本文通过对显影工艺设备的机理分析,以及显影条件的关键参数剖析,得出显影条件与产品结构的对应关系,通过本次探究,对TFT-LCD显影工艺有了更加深入的了解,对生产制造提供了有力帮助.

【作者】

：

王立夫盛大德

【机构】

：

北京京东方显示技术有限公司,北京 100176

【出处】

：

电子元器件与信息技术

【发表日期】

：

2021年10期

【关键词】

：

TFT-LCD 显影工艺生产制造

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