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溅射功率对二氧化锆薄膜结构及力学性能的影响研究

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qg20090908

【作 者】

：

彭塞奥  王天齐  金克武  杨扬  李刚  姚婷婷  杨勇 

【出 处】

：

硅酸盐通报

【发表日期】

：

2019年10期

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