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具有TiN扩散阻挡层的n-GaAs欧姆接触的可靠性

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tlf123

【作 者】

：

张万荣  李志国  穆甫臣  程尧海  孙英华  郭伟玲  陈建 

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2000年06期

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