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在信息处理和通信技术中，光电子器件起着越来越重要的作用，然而，因为硅是间接湿润地导体，度图把光电子器件集成在硅微电子集成电路上却遇到很大困难，为解决这一困难，人们发展了多种与同电子集成电路兼容的光电子器件制造技术，本文介绍最近几年这方面技术的发展状况。
硅基光电器件研究进展
【摘 要】
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在信息处理和通信技术中，光电子器件起着越来越重要的作用，然而，因为硅是间接湿润地导体，度图把光电子器件集成在硅微电子集成电路上却遇到很大困难，为解决这一困难，人们发展了多种
【机 构】
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河北大学电子与信息工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年1期
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