【摘 要】
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干涉检测作为高精度光学面形加工的基础,其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题,基于子孔径拼接算法,提出了一种拼接因子用于重叠区域取值,同时利
【机 构】
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齐齐哈尔大学应用技术学院; 中国船舶重工集团公司第七一八研究所;
【基金项目】
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国家自然科学基金(61036015)
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干涉检测作为高精度光学面形加工的基础,其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题,基于子孔径拼接算法,提出了一种拼接因子用于重叠区域取值,同时利用Φ100mm口径干涉仪对Φ120mm口径平面反射镜完成拼接检验,并将拼接检测结果与利用Φ150mm口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析,实验结果表明,拼接结果无"拼痕",拼接检测结果与全口径测量结果 PV与RMS的相对偏差分别为7.25%与7.14%,检测面形是一致的,由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。
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