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P偏振光双表面反射比的角谱及其应用
P偏振光双表面反射比的角谱及其应用
来源 :测试技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:baofeifly
【摘 要】
:
p-偏振光在镀膜平板基片两面的反射光强度比值的角谱是膜层参数(折射率、消光系数和厚度)的函数.实验表明通过角谱的测量和数值模拟是精确测量薄膜参数的新途径.基于此原理,
【作 者】
:
梁培辉
张伟清
叶韧
雷建求
顾铮先
刘小林
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
测试技术学报
【发表日期】
:
2002年z1期
【关键词】
:
p偏振光
反射比
薄膜参数
气敏传感器
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p-偏振光在镀膜平板基片两面的反射光强度比值的角谱是膜层参数(折射率、消光系数和厚度)的函数.实验表明通过角谱的测量和数值模拟是精确测量薄膜参数的新途径.基于此原理,还试制出掺Sb的SnO2溶胶凝胶薄膜的光化学气敏传感器.
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