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多孔硅介质膜在射频/微波电路中具有很好的应用前景.阐述了多孔硅作介质膜的优点,比较研究了不同厚度的多孔硅厚膜上平面电感器的性能参数比较和不同介质膜上螺旋电感性能比较,介绍了多孔硅在射频/微波电路的研究进展,并对存在的主要问题作了讨论.
多孔硅在射频/微波电路中的研究进展
【摘 要】
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多孔硅介质膜在射频/微波电路中具有很好的应用前景.阐述了多孔硅作介质膜的优点,比较研究了不同厚度的多孔硅厚膜上平面电感器的性能参数比较和不同介质膜上螺旋电感性能比
【机 构】
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湖南文理学院
【出 处】
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湖南文理学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年03期
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