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集成电路制造过程中化学气相沉积（CVD）工艺生成大量有毒有害工艺废气,介绍在这道工序中工艺废气的成因及其无害化排放处理的过程。
集成电路制造中化学气相沉积工艺废气的处理
【摘 要】
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集成电路制造过程中化学气相沉积（CVD）工艺生成大量有毒有害工艺废气,介绍在这道工序中工艺废气的成因及其无害化排放处理的过程。
【机 构】
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上海交通大学环境科学与工程学院
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2011年1期
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