【摘 要】
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目前微装配领域还没有可靠的亚微牛（sub-μN）分辨率的传感器。针对这一实际难题，设计了一个基于PVDF的微力传感器，使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所,中国科学院大学
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目前微装配领域还没有可靠的亚微牛（sub-μN）分辨率的传感器。针对这一实际难题，设计了一个基于PVDF的微力传感器，使其能够提供高精度、高可靠性的微小力测量。首先基于压电效应和材料力学中悬臂梁结构，设计7PVDF传感器悬臂梁模型。其次由于PVDF产生的电荷很少且为sub—pc量级，设计了一个信号调理电路把电荷量转换为电压量。最后在New Focus公司生产的3D智能运动平台上进行实验，实验结果表明，所设计的PVDF传感器分辨力可以达到在sub-μN范围，从而为自动化生产过程中的批量制造和微装配中微接触力
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