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本文针对CVD P5000 PETEOS工艺出片表面打火发花现象,综合实际工作中的一些经验,从淀积和清洗参数,工艺腔体备件和水路,设备参数管控,PM管理四个方面,就如何有效控制该异常进行了全面的分析,并提出相应的处理方法措施。
半导体设备AMAT P5000 PETEOS打火异常分析及处理方法
【摘 要】
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本文针对CVD P5000 PETEOS工艺出片表面打火发花现象,综合实际工作中的一些经验,从淀积和清洗参数,工艺腔体备件和水路,设备参数管控,PM管理四个方面,就如何有效控制该异常进
【机 构】
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无锡华润上华科技有限公司
【出 处】
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中国设备工程
【发表日期】
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2020年3期
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