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采用磁控溅射法制备了不同结构成分的铜铟镓（CIG）预制层，对预制层进行硒化得到铜铟镓硒（CIGS）薄膜。采用XRD、SEM及EDS研究了CIG预制层的结构成分对C1GS薄膜的组织与结构的影响。结果表明，不同结构成分的CIG预制层经过硒化后得到的CIGS薄膜中各元素的成分比例差别不大；采用Ga浓度相对较高的CuGa靶制备的两层结构的CIG预制层经硒化后生成的CIGS薄膜，其（112）面择优取向比较明显，晶粒尺寸相对较大。