10keV X射线空间辐照总剂量试验可行性研究

来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yan303

【摘要】

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传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的

【作者】

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李若瑜李斌罗宏伟师谦

【机构】

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华南理工大学微电子学系,华南理工大学微电子学系,信息产业部电子第五研究所

【出处】

：

核电子学与探测技术

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

总剂量 X射线试验辐照 ^60CO 空间辐射源环境危害在线测试栅氧化层辐射机理剂量率硅片封装 X-rays()~(60)Coradiatio

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传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的成本,提高研发效率.从辐射机理和辐射对栅氧化层影响的角度深入地论证了用10keV X射线代替60Co作为总剂量试验辐射源的可行性.

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