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本文采用游离碳化硅、Al2O3砂轮以及四种不同粒度金刚石钎焊盘对采用化学凝胶法制备的超细磨料磨抛盘进行修整。跟踪比较这几种修整方式在修整过程中，超细磨料磨抛盘在周向和径向上高度的最大差值，寻找适合的修整方法。实验结果表明，在一定时间范围内，磨抛盘的不平度都随修整时间增长而减小；游离SiC的修整效率低，修整后磨抛盘不平度高达700μm；Al2O3砂轮修整效率低，需要33h左右磨抛盘表面达到稳定状态，磨抛盘不平度小，周向不平度47μm左右；金刚石钎焊盘修整效率高，15h后磨抛盘表面状况稳定，磨抛盘不平度小，周