【摘 要】
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經过三个月的摸索,初步掌握了用磁分度电学跟踪照相方法光刻圓光栅技术,現簡介如下: 一、装置(見图1、图2): 1. 试驗台底座2. 照明光源3. 照明系统及遮光筒4. 光縫5. 組合呈
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經过三个月的摸索,初步掌握了用磁分度电学跟踪照相方法光刻圓光栅技术,現簡介如下: 一、装置(見图1、图2): 1. 试驗台底座2. 照明光源3. 照明系统及遮光筒4. 光縫5. 組合呈象透鏡6. 快門
After three months of exploration, preliminary mastered the magnetic indexing electrical tracking photolithographic circle grating technology, are as follows: First, the device (see Figure 1, Figure 2): 1. Test bench base 2. Lighting Light source 3. Lighting system and shading tube 4. Light seams 5. Combination lens 7. Shutter
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