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应用光的干涉和衍射理论，系统地阐述了一种高灵敏度形状检测技术的基本原理，并提出了一新的测试方法，可以消除坐标影响荐，从而得到纯等高线条纹图，文中应用该技术，实际测量了带有几种压痕的平板表面的深度分布，分析了测量灵敏度和精度，给出了部分实验结果。
一种高灵敏度形状检测新技术
【摘 要】
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应用光的干涉和衍射理论，系统地阐述了一种高灵敏度形状检测技术的基本原理，并提出了一新的测试方法，可以消除坐标影响荐，从而得到纯等高线条纹图，文中应用该技术，实际测量了带有几
【机 构】
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中国科学技术大学光力学实验室
【出 处】
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力学学报
【发表日期】
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1995年3期
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