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为实现精确、稳定、快速的反应溅射镀膜工艺,降低成本,提高品质,设计基于等离子体光谱的反应溅射镀膜控制系统。通过监控反应溅射镀膜过程中等离子体的发射光谱,采用PID算法控制,实时闭环调节反应气体流量。
基于等离子体光谱的反应磁控溅射镀膜控制系统
【摘 要】
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为实现精确、稳定、快速的反应溅射镀膜工艺,降低成本,提高品质,设计基于等离子体光谱的反应溅射镀膜控制系统。通过监控反应溅射镀膜过程中等离子体的发射光谱,采用PID算法
【机 构】
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广州市光机电技术研究院
【出 处】
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自动化与信息工程
【发表日期】
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2017年6期
【基金项目】
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广东省科技计划项目(2016B030303001);广州市科技计划项目(2014SY000018)
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