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1.技术概要rn机械制造技术在提高精度方面,从精密加工发展到超精密加工,其精度从微米级提高到亚微米级,乃至纳米级.就目前的加工技术而言,超精密加工技术是为了获得零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙度均优于亚微米级的综合技术措施,并向纳米级加工发展.纳米级加工是指零件加工的尺寸精度、形状精度和表面粗糙均为纳米级(<10nm,即<0.01μm).rn