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设计了行波电极型GaAs异质结材料 BOA光开关;采用谱域法分析和设计了平面微带线结构(PMS),并应用转移矩阵理论和有效折射率法计算和分析了电极结构与器件半波电压和串音度的关系.结果表明,采用PMS结构器件的3dB带宽可达到20GHz;电极位置的对称性对器件串音度起决定性的影响,采用本文提出的电极对准工艺,能够得到小于-40dB的串音度.