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对Ar离子注入P型MCT的反型进行了分析。由于Ar离子是中性离子，注入后反型的机理是否与B离子注入到P型MCT反型机理一致？我们根据B离子注入到P型MCT的模型进行了Ar离子注入反型的假设。经过实验验证了经Ar离子注入后，退火前不显现结整流特性，退火后显示出结整流特性，得到了Ar离子注入P型MCT中的反型大致与B离子注入到P型MCT反型结果一致。Ar离子注入后产生了大量的缺陷，形成剩余的Hg间隙原子被衍生缺陷所捕获，退火使得Hg间隙原子从衍生缺陷中逃逸出来而呈现低浓度的背景施主，造成了P型MCT的反型。