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为研究CO2激光预处理参数对熔石英基片表面的影响，采用波长为10．6μm，重复频率为100Hz的CO2激光对完好的熔石英基片进行单点单次辐照处理。实验发现，对于不同的修复程度，面形变化不完全相同，损伤斑的形貌也各不相同。实验得到了适合修复的参数范围，并研究了修复对于材料粗糙度和疏水性的影响。对中度修复的取样点表面的局部粗糙度进行了统计，发现预处理过程中的污染沉积物在一定范围存在。在此基础上对污染的影响范围分布规律进行了统计。