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超纯水处理系统广泛应用于微电子行业中，尤其在半导体生产中，有水量消耗大，水质要求高，工艺过程长等特点。超纯水处理过程中需要消耗各种各样的资源，比如，水，电，化学品，且在过程中需排放污染物。不同的超纯水处理工艺对资源的要求也不尽相同，从设计角度分析超纯水处理系统的节能减排，对超纯水处理系统进行优化设计具有环保意义。