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原位XPS分析Al2O3作为势垒层的Er2O3/Si结构

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kuang25748

【作 者】

：

高宝龙  买买提热夏提·买买提  亚森江·吾甫尔  阿布都艾则孜 

【出 处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2017年05期

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