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同步辐射曝光特性计算
同步辐射曝光特性计算
来源 :安徽建筑工业学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiawa371236585
【摘 要】
:
微型机械技术给工业领域带来了深刻的变革,它被认为是未来工业的一项基础技术,在全世界正被广泛的研究.LIGA技术是制作微电子机械的一种重要加工方法.本文主要对合肥同步辐射
【作 者】
:
胡作进
【机 构】
:
铜陵财经专科学校铜陵244000
【出 处】
:
安徽建筑工业学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
同步辐射光源
曝光时间
曝光特性
synchrotron radiation light source
exposure time
exposure prope
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微型机械技术给工业领域带来了深刻的变革,它被认为是未来工业的一项基础技术,在全世界正被广泛的研究.LIGA技术是制作微电子机械的一种重要加工方法.本文主要对合肥同步辐射光源用于LIGA技术时的曝光时间和曝光特性进行了计算分析.
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