同步辐射曝光特性计算

来源 :安徽建筑工业学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiawa371236585
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微型机械技术给工业领域带来了深刻的变革,它被认为是未来工业的一项基础技术,在全世界正被广泛的研究.LIGA技术是制作微电子机械的一种重要加工方法.本文主要对合肥同步辐射光源用于LIGA技术时的曝光时间和曝光特性进行了计算分析.
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