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以像点位移的概念阐述了光学投影式轮廓测量法的原理和关键任务, 详细分析了从相位到像点位移和从像点位移到高度的两项不可忽略的误差源, 并给出了误差补偿方法.数值仿真和实验结果证明了这些方法的有效性.
光栅投影式轮廓测量中两种误差的分析
【摘 要】
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以像点位移的概念阐述了光学投影式轮廓测量法的原理和关键任务, 详细分析了从相位到像点位移和从像点位移到高度的两项不可忽略的误差源, 并给出了误差补偿方法.数值仿真和
【机 构】
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清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2000年3期
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