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通过相移技术获取调制度值的调制度三维测量法，不可避免地存在相移误差，从而降低测量精度。简述了调制度测量原理，分析了相移误差对调制度的影响，提出利用图像灰度值进行相移误差分析并进行误差补偿，以提高测量精度。实验以一平面石膏为测量对象，根据测量结果，验证了该方法的正确性和有效性，对采用相移技术的三维测量法具有重要的意义。