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共同标准的采用是一个行业成熟的标志。全球半导体公司，虽然是市场上的凶猛的竞争者，却已经表露出强烈的愿望，要在工厂自动化方面合作、制定和执行共同的标准。事实上，已经有两批标准，SEMI200mm SECS／GEM标准和SEMI300mm自动化标准得到了实施。但这些标准在等级和工业中应用的水平方面都存在差异。理解影响这些差异的因素，可以有助于我们洞察第三批标准（Equipment Data Acquisition，EDA，设备数据采集）有望达到的等级和在工业界中得到应用的水平．