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在各种测量杂质浓度分布的方法中,CV法因其快速、容易,对材料无损伤而被广泛采用,在本文中我们将研究其在缓变P-N结中的应用.
CV法测缓变PN结杂质浓度分布的研究
【摘 要】
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在各种测量杂质浓度分布的方法中,CV法因其快速、容易,对材料无损伤而被广泛采用,在本文中我们将研究其在缓变P-N结中的应用.
【机 构】
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贵州教育学院数学系
【出 处】
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贵州教育学院学报(自然科学)
【发表日期】
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2001年4期
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