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在自动显微测量技术中,为了在保证对焦精度的同时具有较强的噪声抑制能力,在研究显微镜成像和聚焦原理的基础上提出了一种新的用于显微测量的聚焦评价函数。该聚焦评价函数利用改进的SUSAN算法识别待测边缘,当待测边缘点的数目最少时,显微镜聚焦最佳。实验表明,在粗调焦、细调焦、加高斯噪声后调焦和加椒盐噪声后调焦时,对同一位置的物体重复对焦30次,测得对焦位置的标准差分别为0.000,0.0011,0.0126,0.0033。与经典的聚焦评价函数相比,BW聚焦评价函数在精确性、单峰性、灵敏度、抗噪性能方面性能优越,是一种原理简单综合性能优越的聚焦评价函数,特别适用于显微测量。