【摘 要】
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固体密度基准的准确度主要取决于对单晶硅球直径的准确测量. 为了准确测量硅球直径, 针对传统五幅相移算法之不足, 提出了"改进型五幅算法", 在保持该算法高准确度特点的同时
【基金项目】
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科技部国家社会公益研究专项资助项目;
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固体密度基准的准确度主要取决于对单晶硅球直径的准确测量. 为了准确测量硅球直径, 针对传统五幅相移算法之不足, 提出了"改进型五幅算法", 在保持该算法高准确度特点的同时, 通过将技术上难以实现的步长"准确控制"(理论上要求绝对准确)转换成步长测量问题, 解决了该算法在精密测长中的技术难题; 在算法突破的基础上, 利用"压力扫描"原理设计出"腔长可变式"法-珀标准具, 建立了一套与国外同行相比技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统. 该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm; 单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7.
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