【摘 要】
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利用场发射扫描电镜（FESEM）及其附带能谱仪研究了失效空心阴极发射体的表面形貌、元素组成。研究了离子源环境参数包括预热温度、环境气体组成等对空心阴极失效的影响。提出在
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利用场发射扫描电镜（FESEM）及其附带能谱仪研究了失效空心阴极发射体的表面形貌、元素组成。研究了离子源环境参数包括预热温度、环境气体组成等对空心阴极失效的影响。提出在离子束辅助沉积（Ion Beam As-sisted Deposition）系统中影响空心阴极发射体寿命的影响因素包括预热温度，环境气体等。通过控制温度和环境气体参与反应的时间可以提高空心阴极的寿命。
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