单晶硅PERC高效太阳电池量产工艺研究

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以Al2O3/SixNy为钝化层,制备了PERC单晶硅太阳电池,研究Al2O3钝化层厚度对钝化效果的影响,分析硅片少子寿命变化、烧结曲线对PERC电池电性能参数的影响。
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