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Determination of Suspended Structure in Microhotplate Using Gradient Method

来源 :材料科学与工程：中英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wen06080

【作 者】

：

Zaini Abdul Halim Zarina Tarda 

【机 构】

：

CEDEC（CollaborativepElectronicDesignExcellentCenter）,SchoolofElectricalandElectronicEngineering

【出 处】

：

材料科学与工程：中英文版

【发表日期】

：

2010年11期

【关键词】

：

结构测定 梯度法 扫描电子显微镜 悬挂结构 悬浮 湿法蚀刻 ate设计 结构设计 Microhotplate  wet anisotropic etching 

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