ZL109铝合金表面离子镀TiN薄膜及耐磨性

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采用多弧等离子体辅助物理气相沉积法,在ZL109铝合金表面沉积了TiN薄膜并对其形貌结构及耐磨性进行了研究。结果表明,在温度较低时TiN薄膜在ZL109铝合金表面生长方式为平面生长模式,随着沉积温度的升高及时间的延长,生长方式向岛状生长模式转化;在沉积温度为280℃,时间为1h时,得到的TiN薄膜厚度在2μm以上;ZL109铝合金表面沉积TiN薄膜后耐磨性提高约4倍。
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