【摘 要】
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分子泵除气系统出现异常断电的情况下,系统内部出气无法排出,同时外部大气进入真空系统,可能损坏分子泵、破坏系统真空状态,对以分子泵为主除气泵的真空物理实验造成不可预估
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所,四川绵阳621900
【出 处】
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电子陶瓷、陶瓷—金属封接第十九届会议暨真空电子与专用金属材料分会2019年年会
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分子泵除气系统出现异常断电的情况下,系统内部出气无法排出,同时外部大气进入真空系统,可能损坏分子泵、破坏系统真空状态,对以分子泵为主除气泵的真空物理实验造成不可预估的损失.为了消除实验过程中可能出现的这种隐患,通过在除气系统中设置合适的容气腔和高灵敏度、密封可靠的电磁阀,形成一种分子泵除气系统保护结构.应用该结构的分子泵除气系统实验结果表明:真空机组断电时间超过20min,分子泵仍可维持怠速除气状态,真空腔保持真空度在1×101Pa以上,不影响物理实验真空性能.分子泵除气系统异常断电后较长时间的系统保护和高真空保持,可为采取补救措施,避免重大损失提供宝贵机会.
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