基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法

来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luo311

【摘要】

：

针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Sm

【作者】

：

过润秋解宝辉

【机构】

：

西安电子科技大学机电工程学院

【出处】

：

西安电子科技大学学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

MOCVD 温度控制模糊PID控制

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针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Smith预估控制相比,Fuzzy-PID具有更好的控制效果,较好地解决了系统中存在的'非线性'、'大滞后'、'物理模型不精确'等问题,满足MOCVD控制系统温度控制要求.

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