非晶硅低温退火固相晶化的研究

来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：petitlxr

【摘要】

：

从PECVD法制取的n+与n/n+两种结构的a-Si:H试样,采用低温退火固相晶化工艺,得到了满足器件质量要求的大晶粒多晶硅膜。测试结果证实:在N2气氛下,经6—10h的600℃（或800℃）温度

【作者】

：

饶海波杜开瑛

【机构】

：

四川大学物理系,四川大学物理系

【出处】

：

四川大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1993年4期

【关键词】

：

非晶硅低温退火固相晶化 amorphous silicon low temperature annealing solid phase crystall

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从PECVD法制取的n+与n/n+两种结构的a-Si:H试样,采用低温退火固相晶化工艺,得到了满足器件质量要求的大晶粒多晶硅膜。测试结果证实:在N2气氛下,经6—10h的600℃（或800℃）温度的退火后,两种a-Si:H膜均已明显地晶化.测得了晶化膜的粒径>lμm,暗电导率、光电导率均比退火前增加了3个数量级,迁移率则增加了10—80倍。更多还原

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