【摘 要】
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验证明薄膜体声波谐振器（FBAR）用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所,中国科学院高能物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（61574131）,中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目（2014ZA001）,西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目（14zxtk01）,核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目（2016KF02）}西南科技大学研究生创新基金项目（16ycx102）
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验证明薄膜体声波谐振器（FBAR）用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出了不同机理来解释FBAR在伽马辐照下谐振频率偏移的原因。其中结构一FBAR为四层叠层结构（金属层-压电层-氧化层-金属层）,伽马辐照之后,会在辐照敏感层（氧化层）形成一个电压,相当于给压电层施加了一个直流电压,从而使谐振频率发生偏移;结构二与结构一不同的是,结构二FBAR在氧化层和压电层之间有一半导体层,辐照之后在氧化层中形成的电压改变了半导体的表面势,使半导体空间电荷层电
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