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干膜电镀破孔与渗镀问题的改善办法
干膜电镀破孔与渗镀问题的改善办法
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chair_mao
【摘 要】
:
干膜出现破孔后,加大贴膜温度和压力,以增强其结合力,是不正确的做法。因为温度和压力过高后,抗蚀层的溶剂过度挥发,使干膜变脆变薄,显影时极易被冲破孔。以下几点做法是对的。
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
2009年5期
【关键词】
:
改善办法
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干膜出现破孔后,加大贴膜温度和压力,以增强其结合力,是不正确的做法。因为温度和压力过高后,抗蚀层的溶剂过度挥发,使干膜变脆变薄,显影时极易被冲破孔。以下几点做法是对的。
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