干膜电镀破孔与渗镀问题的改善办法

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干膜出现破孔后,加大贴膜温度和压力,以增强其结合力,是不正确的做法。因为温度和压力过高后,抗蚀层的溶剂过度挥发,使干膜变脆变薄,显影时极易被冲破孔。以下几点做法是对的。
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