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微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成果.重点描述了MEMS应用现状及发展前景.
微型机电系统的发展探讨
【摘 要】
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微型机电系统是一个新兴的技术领域,是一个跨世纪的新学科.本文简要介绍了MEMS的历史、对各行各业发挥的重要作用以及研究的主要成果.重点描述了MEMS应用现状及发展前景.
【出 处】
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华章
【发表日期】
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2004年期
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