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研制了一种与光学显微镜结合的扫描隧道显微镜。在ＣＣＤ摄象机监视下，利用ＸＹ冲击式样品台，可将针尖移动到１０×１０ｍｍ＾２样品的任一特写区域扫描。仪器具有原子（Ａ）量级分辨率，最大扫描范围可达２×２μｍ＾２。文中给出了本仪器获得的一些样品图像结果。
与光学显微镜结合的扫描隧道显微镜
【摘 要】
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研制了一种与光学显微镜结合的扫描隧道显微镜。在ＣＣＤ摄象机监视下，利用ＸＹ冲击式样品台，可将针尖移动到１０×１０ｍｍ＾２样品的任一特写区域扫描。仪器具有原子（Ａ）量级分辨率，最大扫描范围可达２
【机 构】
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中国科技大学精密机械与精密仪器系
【出 处】
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现代科学仪器
【发表日期】
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1995年3期
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