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搭建了一种新型两自由度精密定位平台，主要由直线型超声电机、直线导轨、工作台三部分组成。采用了直线型超声电机，利用非统一截面杆在正交方向上的两个四阶弯振模态作为工作模态，其最高速度为190mm／s，最大推力为19N。该平台具有响应速度快，无后冲，高精度，断电自锁和工作行程大的特点。在位置检测装置具有1μm分辨率的情况下，其闭环最高定位精度小于2μm，且开环分辨率可达到1μm。