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介绍了单晶硅电池片物理气相沉积（PVD）工序封装解决方案及工艺流程。通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题。并对该系统进行了分析优化,给出了提高精度、速度的优化方案。
工业视觉机器人在单晶硅电池片PVD工艺中的应用
【摘 要】
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介绍了单晶硅电池片物理气相沉积（PVD）工序封装解决方案及工艺流程。通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、
【机 构】
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中电科风华信息装备股份有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年2期
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