POSS基低介电常数多孔薄膜的制备与性能研究

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通过4,4’-二(4-烯丙氧基苯甲酸)苯酯与POSS分子的硅氢化反应,合成了POSS交联聚合物。用FTIR、XRD对聚合物结构进行了表征,利用椭偏仪测量了薄膜的折射率和介电常数。通过改变单体与POSS投料摩尔比,可制备出k<2.5的低介电常数薄膜。
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