【摘 要】
：
利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作，文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文部分内容阅读
利用扫描探针显微镜(SPM)进行电场诱导氧化加工的方法可应用于半导体微型器件和纳米电子器件的加工制作，文中研究了原子力显微镜(AFM)电场诱导氧化理论以及一些加工参数(偏置电压和加工速度)对加工结构尺寸的影响，并提出了阈值电压的概念，通过实验得出了偏压越大，加工线尺寸越大的结论，并指出随着加工速度的增大，加工线宽和线高都减小，且加工线高度和加工速度近似呈负对数关系，实验是在H钝化的Si表面上进行的。
其他文献
本刊自创刊以来受到广大读者的欢迎和支持,不少读者对改为月刊十分关注,提出了许多很好的意见和建议,现选登几例。明年本刊改为月刊,为办好本刊,请广大读者继续提出宝贵的意
通过物理模型试验,在淤泥质海床上沉箱锚定固位后受波浪、潮流作用的条件下,对沉箱坐底运动状态的稳定性和锚链最大拉力进行了试验研究.试验中考虑了受潮位影响时,沉箱与波浪
<正> 二月二十五日,《中学政治课教学》编辑委员会召开了第四次会议。北京师范大学党委常委、宣传部长兼编委会副主任和编辑部主编胡恒立主持会议。编辑部顾问、北京市教育局
2016年底和2017年初,两岸关系发生了一系列可能产生深远影响的事件。一是台湾地区领导人蔡英文与美国侯任总统特朗普打破中美关系30多年来惯例的通话;二是非洲小国圣多美和普
<正> 1984年12月,在一年一度的广西中学政治课教学研究会的经验交流会上,一位满头银发的老人时而在会场四周拿着照相机拍照,时而又庄重、严肃地主持会议。“他是谁?”他就是
动态脉搏波阻抗包含了人体重要的生理病理信息，但由于其测量容易受到测量条件和个体差异的影响，测量精度难以提高，严重限制了在临床上的应用．为了实现高精度动态脉搏波阻抗的测量
针对多目标物体图像的分割问题,在Chan-Vese多相分割模型的基础上,结合分等级分割的概念,提出自适应分等级分割方法,在每一阶段分割之前能够先根据图像中的物体数量判断出所需要的Level Set函数的个数,再进行分割工作.实验结果表明,自适应分等级分割方法不仅消除了多相分割模型对初始化曲线位置敏感的不足,而且能够充分利用每一个Level Set函数,减少分割步骤,并且能提高弱边界的提取精度,是一
<正> 锦县第二高中,在进行《决议》教学过程中,组织学生回乡调查,把课堂上讲的《决议》的观点,与社会实际结合起来,把感性认识同理性认识结合起来,使学生对《决议》的基本精
膜法无泡供氧是一新兴高效好氧生物处理水体污染的供氧技术，气相操作压力是实现无泡供氧的关键因素．为了考察其在无泡供氧中发挥的重要作用，在对膜供氧的传质机理和传质方程进行
当海况变化较大时,惯性导航系统(INS)的误差振荡幅度较大.为了减小系统误差的振荡幅度,提出了一种新的设计思想,采用自适应控制方法,根据实际的海况变化情况,实时校正阻尼参