【摘 要】
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微电子机械系统（Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS）是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术，微驱动器是MEMS的重要组成部分。首先阐述了几种新型驱动原理：机械化学驱
【机 构】
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北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院
【基金项目】
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空军武器装备预先研究项目(4020210201);国家自然科学项目(60371043)
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微电子机械系统（Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS）是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术，微驱动器是MEMS的重要组成部分。首先阐述了几种新型驱动原理：机械化学驱动、渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动，接下来介绍了常用驱动技术压电驱动、静电驱动、磁致伸缩驱动和气动驱动的当前研究成果。总结了常用微驱动器的驱动方式及特征。提出了目前研究中存在的主要问题，在此基础上简要分析了镊驱动器的发展前景。
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